Мембранные клапаны для напыления с точностью до атомного слоя SWAGELOK Мембранные клапаны Swagelok для атомно-слоевой эпитаксии имеют сверхвысокий циклический срок службы, высокую скорость срабатывания и коэффициенты расхода до 0,62, а термические приводы, датчики положения и электромагниты обеспечивают оптимальную производительность в системах напыления с точностью до атомного слоя.
Мембранные клапаны для напыления с точностью до атомного слоя (ALD) SWAGELOK имеют нормально закрытый пневматический привод, обычные и термические приводы, возможность открытия или закрытия клапана за время менее 5 мс.
Механизм регулирования расхода через седло обеспечивает точный и согласованный коэффициент Cv. Седло в закрытом исполнении из высокочистого перфтороалкокси (PFA) обеспечивает широкий диапазон химической совместимости и превосходную сопротивляемость вздутию и загрязнению.
Мембранные клапаны обеспечивают беспрепятственный путь прохождения потока, сокращают до минимума зоны скопления частиц, упрощают продувку и максимально повышают пропускную способность.
Технические условия обработки мембранных клапанов для атомно-слоевой эпитаксии (ALD):
? Сверхвысокая степень чистоты, обозначение обработки Р. Технические условия по сверхчистой обработке (SC-01):
- Сверхчистая очистка под постоянным контролем деионизированной водой в системе ультразвуковой очистки.
- Проводится на рабочих участках 4 класса по ISO; клапаны упаковываются в двойные чехлы и запаиваются в чистых комнатах.
- Средняя шероховатость поверхности, соприкасающейся со средой, — 5 микродюймов (0,03 мкм), механическая обработка и электрополировка.
Дополнительная информация
Технические характеристики
Рабочее давление: от вакуума до 145 фунтов на кв. дюйм, ман. (10,0 бара)
Давление разрыва: >3200 фунтов на кв. дюйм, ман. (220 бар)
Давление срабатывания: от 50 до 90 фунтов на кв. дюйм, ман. (от 3,5 до 6,2 бара)
Температура: от 0 до 200 °C
Коэффициент расхода: 0,27 или 0,62
Материал корпуса: нерж. сталь 316L VIM-VAR
Материал мембраны: Elgiloy®
Торцевые соединения
• Тип: фитинг с торцевым уплотнением VCR®, сварное соединение встык; модульный монтаж на поверхность (MSM)
• Размер: от 1/4 до 1/2 дюйма; от 6 до 12 мм; MSM 1,125 и 1,5 дюйма
|
